Activity Dip的最常见原因：

2. SiTime的MEMS First™工艺采用标准的硅制造技术，在非常高温，清洁，真空的环境中密封MEMS。 这为MEMS创造了一个非常干净，无湿气的环境，并且消除了污染或水分引起的Activity Dip的可能性。

问：SiTime的可靠性和质量指标是什么？
SiTime使用行业标准流程来执行，采用加速生命周期压力测试（如HTOL）的产品的可靠性资格。

SiTime发布的关键可靠性指标是FIT或（故障时间），它提供了在10亿小时的操作之后预期的设备故障数量的估计。相关的度量是MTBF（平均无故障时间），这是FIT的倒数。

其他可靠性指标：
EFR - 有效滤过率：
ESD - 静电放电：
LU - 闩锁：
MS - 机械冲击：
VFV - 变频振动：
CA - 恒定的加速度：

所有SiTime产品均采用我们强大的6-Sigma工艺设计并投入生产。产品按照适当的JEDEC和AEC标准进行充分表征和鉴定。为了确保最高质量，SiTime在每个生产批次的样品上对温度范围进行批次验收测试（LAT）。

SiTime的超高质量已经在成千上万的装置上得到了验证。我们实际的现场报废率低于2 DPPM，在半导体行业中名列前茅。经过六年多的出货，SiTime已经没有MEMS领域的故障。

问：MEMS振荡器的Activation Energy是多少？

SiTime MEMS振荡器采用标准的半导体封装工艺，采用MEMS谐振器和CMOS芯片。 由于目前出货量超过2.5亿个产品中没有MEMS谐振器故障，我们无法计算MEMS的Activation Energy（Ea）。因此我们使用CMOS的行业标准Ea = 0.7 eV作为产品的Ea。我们使用设备最坏情况元素的Ea作为Ea来计算我们产品的可靠性度量，FIT和MTBF。有关我们如何计算FIT / MTBF值的更多详细信息，请参阅应用笔记：SiTime振荡器的可靠性计算。

问：MEMS振荡器的密封效果如何？
SiTime的Epi-Seal™工艺在晶圆处理过程中密封了谐振器，从而消除了对密封封装的任何需求，这是MEMS谐振器非常稳定的关键因素之一。SiTime谐振器Epi-Seal不受大气中最高浓度元素氮气和氧气的影响，因此可算完美密封。大气中还含有微量的亚原子气体：5.24 ppm（氦气）的氦气（ppmv）和0.55 ppmv浓度的氢气。这些气体可以通过Epi-Seal层扩散并进入MEMS谐振腔，导致压力增加。这个压力最终将与这些气体的环境压力相等。氦气泄漏测试通常用于测试密封陶瓷封装，包括与石英振荡器一起使用的封装。然而，对SiTime谐振器密封质量进行氦气泄漏测试是不相关的，因为Epi-Seal不是设计用于密封单原子气体：He和H2。这样的气体在正常的环境操作环境中具有极低的浓度，并且在任何应用中对SiTime谐振器没有不利的操作影响。
有关MEMS谐振器制造工艺的更多信息，请参阅我们的技术文章SiTime的MEMS First™工艺。

相关链接：SiTime硅晶振产品选型